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半导体冷水机的作用

点击次数:1939    发布时间:2017-07-21

半导体冷水机的作用

    半导体冷水机是指 应用在半导体领域,如扫描光刻机、微纳坐标测量机、扫描探针显微镜等超精密仪器的高精度冷水机组。

    半导体冷水机的出现以及广泛应用,是随着科技的不断发展,现代超精密制造、加工、测量仪器对工作环境提出了苛刻要求,尤其是以光刻机为代表的超大规模集成电路制造设备,其高集成度导致常规散热方法远远不能满足要求,同时投影物镜的光刻质量、运动部件的定位精度以及测量装置的测量精度等都对环境参数的变化特别是温度的变化尤为敏感。因此,环境参数尤其是温度的控制成为一项关键问题,而半导体冷水机的出现正好解决了这一难题。

 半导体冷水机温度控制系统是保证步进扫描光刻机、微纳坐标测量机、扫描探针显微镜等超精密仪器设备良好工作状态的重要组成单元。

半导体冷水机参数:

产品名称

型号

制冷量

出水压力
Kgf/cm

水流量
l/min

功率
W

水箱容积
L

外形尺寸

长*宽*高

半导体

冷水机

Kw/h

Kca/h

TF-LS-300W

0.3

258

0.1-0.6

9-20

280

5.5

505*230*500

TF-LS-600W

0.6

516

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1KW

1

860

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1.5KW

1.5

1290

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-2KW

2

1720

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-2.5KW

2.5

2150

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-3KW

3

2580

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-3.5KW

3.5

3010

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-4KW

4

3440

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-4.5KW

4.5

3870

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-6KW

6

5160

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-6.5KW

6.5

5590

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-8KW

8

6880

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-10KW

10

8600

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-12KW

12

10320

0-2

0-60

3870

80

1200*650*1200

TF-LS-15KW

15

12900

0-2

0-60

4600

88

1200*715*1200

TF-LS-18KW

18

15480

0-2

0-60

5280

105

1350*750*1500

TF-LS-20KW

20

17200

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-23KW

23

19780

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-25KW

25

21500

0-2

0-60

9000

195

1350*850*1735

TF-LS-30KW

30

25800

0-2

0-60

9000

195

1350*850*17358

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